始建于1959年
主要技术指标
蒸发内腔尺寸:1.5×1.5×1.4m
蒸发室极限真空:≤ 2×10-4Pa
电子枪:4支,每支10kW
离子源:4支,空心阴极
烘烤温度:最高270℃
走速:0.5—5m/min
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